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派克產(chǎn)品微電子行業(yè)液冷管路解決方案

2022年07月22日16:33 

在微電子行業(yè)中,為了準(zhǔn)確控制各類制造、檢測(cè)類設(shè)備的溫度,液冷技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。例如,在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,晶圓夾具須配備液冷系統(tǒng),用以帶走由高能離子轟擊時(shí)產(chǎn)生的熱量,并控制晶圓溫度。否則,晶圓就有可能因溫度太高而造成光刻膠的網(wǎng)狀組織化。

由此可見,液冷系統(tǒng)不僅關(guān)乎設(shè)備的安全運(yùn)行和使用壽命,還關(guān)乎zui終產(chǎn)品的良率與性能。在整個(gè)液冷系統(tǒng)的組件中,選用合適的管路及接頭非常關(guān)鍵。作為流體傳動(dòng)行業(yè)“無泄漏”的先行者,Parker派克漢尼汾可為微電子行業(yè)的液冷系統(tǒng)提供多種高品質(zhì)流體連接解決方案,滿足不同設(shè)備的冷que需求。

NSS 快換接頭

采用平齊端面閥芯,斷開無溢流;大流量通流能力,提供優(yōu)異的流量-壓降特性,冷que性能穩(wěn)定、能耗低;采用對(duì)齊導(dǎo)向即插連接和套筒反推斷開設(shè)計(jì),操作方便、不會(huì)意外斷開;不銹鋼材質(zhì),多種密封材質(zhì)和油口選項(xiàng)可選。

O-LOK 不銹鋼接頭

采用端面 O 形圈軟密封,該密封圈嵌在Parker派克特you的O形圈鍥形槽內(nèi),密封性能更加穩(wěn)定可靠。這不僅進(jìn)一步提升裝配安全性,還能更好實(shí)現(xiàn)無泄漏連接,優(yōu)化安裝和維護(hù)成本。由于連接及密封性能高度可靠,它能進(jìn)一步減少微電子行業(yè)冷que系統(tǒng)管路的重復(fù)安裝,降低維護(hù)成本。

PTFE 軟管

PTFE系列軟管中的979BXT、929Bj、919B和 NCW/NCB 軟管可用于液冷管路,采用PTFE芯管,是因?yàn)槠渚哂辛己玫慕橘|(zhì)兼容性;靈活 性好;抗扭結(jié)和耐真空;無RFI問題。

801軟管

801軟管是針對(duì)冷que應(yīng)用而設(shè)計(jì)研發(fā)的多用途軟管產(chǎn)品,可與多種水基冷que介質(zhì)兼容;與旗下的82系列Push-Lok接頭匹配,無需扣壓和抱箍、易于安裝,節(jié)省安裝時(shí)間和成本;6種顏色可選,便于識(shí)別;801軟管采用本地化生產(chǎn),交期快,供應(yīng)安全。

目前,Parker派克漢尼汾旗下的高品質(zhì)流體連接解決方案已在微電子行業(yè)得到成功應(yīng)用,性能表現(xiàn)深受客戶認(rèn)可。

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